PWA Parlatma Tozu ile WA Parlatma Tozu Arasındaki Fark
PWA ve WA, hassas taşlama, yarı iletken gofret parlatma ve optik işlemede yaygın olarak kullanılan iki klasik alümina parlatma aşındırıcısıdır. Aşağıda ayrıntılı olarak açıklandığı gibi, üretim tekniği, parçacık morfolojisi, saflık, parlatma mekanizması ve uygulanabilir senaryolar açısından temel olarak farklılık gösterirler.
1. Tam Adı ve Üretim Süreci
WA, Beyaz Erimiş Alümina anlamına gelir. Boksitin 2200℃’nin üzerinde bir elektrik ark fırınında eritilmesi, ardından soğutulmuş erimiş korundum bloklarının ezilmesi, öğütülmesi ve mikro toz haline getirilmesiyle üretilir.
PWA, Platelet Kalsine Alümina anlamına gelir. Elektrikli eritme olmadan 1300℃’de yönlü düşük sıcaklıkta kalsinasyon teknolojisi kullanılarak, kristal büyümesi kontrol edilerek düzenli düz altıgen plakalar oluşturulur, ardından yıkama ve hassas sınıflandırma ile nihai toz elde edilir.
2. Parçacık Şekli ve Saflığı
WA parçacıkları, keskin kenarlı düzensiz parçalanmış çokyüzlülerdir. Al₂O₃ saflığı ≥%96,0’dır ve demir ve silikon gibi biraz daha fazla eser miktarda safsızlık içerir.
PWA, yüksek en boy oranına sahip pürüzsüz, kenarsız levha kristallerine sahiptir. Alümina saflığı %99,0’ı aşar ve ağır metal safsızlıkları sıkı bir şekilde kontrol edilerek ultra temiz yarı iletken üretim standartlarını karşılar.
3. Parlatma Performansı
WA, mekanik kesim için keskin kenarlara dayanır ve yüksek malzeme kaldırma oranı sağlar. Bununla birlikte, sert kesme kuvveti, InP, GaAs ve ince silikon levhalar gibi kırılgan alt tabakalarda kolayca mikro çiziklere, yüzey altı kafes hasarına ve artık gerilime neden olur. Yüzey kalitesinin öncelikli olmadığı ağır malzeme kaldırma gerektiren kaba taşlama için uygundur.
PWA düz parçacıkları, iş parçası yüzeylerine sıkıca yapışır ve keskin kesim yerine düzgün kayma sürtünmesi yoluyla malzeme kaldırır. Çizikleri ve yüzey altı hasarını en aza indirerek, mükemmel genel düzlüğe sahip ultra pürüzsüz, buğusuz ayna yüzeyleri sağlar. Orta düzeyde kaldırma verimliliği ve ultra hassas yüzey kalitesi arasında denge kurar ve bileşik yarı iletken CMP ince parlatma için idealdir.
4. Kimyasal Kararlılık ve Uygulama Alanı
Her ikisi de 9.0 Mohs sertliğine ve kararlı α-alümina fazına sahip olsa da, PWA daha güçlü asit ve alkali direncine ve topaklanma olmadan parlatma bulamaçlarında daha iyi dağılıma sahiptir.
WA esas olarak metal kaba taşlama, genel cam kaba parlatma ve düşük talep gerektiren donanım parlatma işlemlerinde kullanılır.
PWA ise üst düzey alanları hedeflemektedir: III-V yarı iletken gofret parlatma, optik kristal işleme, 3D kavisli cam CMP sonrası ince kesim ve ısı yalıtım kaplamaları için yüksek saflıkta fonksiyonel dolgu maddesi olarak, ithal yüksek hassasiyetli parlatma ortamlarının birinci sınıf bir alternatifi olarak işlev görür.
