12 inçlik wafer parlatma için FO optik parlatma tozu
FO optik parlatma tozu, 12 inçlik yarı iletken plakaların ultra ince düzleştirme işlemi için özel olarak optimize edilmiş yüksek hassasiyetli bir kompozit aşındırıcıdır. Modifiye edilmiş alümina ve zirkonya kompozit formülü kullanılarak üretilen bu toz, homojen parçacık dağılımı, orta ve istikrarlı sertlik ve mükemmel bulamaç süspansiyonu özelliklerine sahiptir ve büyük boyutlu plakaların katı CMP parlatma gereksinimlerini mükemmel şekilde karşılar.
Bu ürün, 12 inçlik silikon levhaların, galyum arsenit, indiyum fosfit ve diğer bileşik yarı iletken levhaların tüm işlem hassas parlatılmasında profesyonel olarak kullanılır. Mikro çizikler, çukurlar veya yüzey gerilimi kalıntıları oluşturmadan yüzeydeki mikro kusurları, kesme izlerini ve düzensiz katmanları etkili bir şekilde giderir. Ultra pürüzsüz yüzey düzleştirmesi sağlar ve büyük çaplı levhaların düzlüğünü, paralelliğini ve genel verimliliğini önemli ölçüde artırır.
İstikrarlı parti tutarlılığı ve kontrol edilebilir malzeme kaldırma oranıyla, 12 inçlik wafer’ların otomatik seri üretimine uyum sağlar. İthal yüksek kaliteli parlatma tozunun yerini mükemmel bir şekilde alabilir ve özelleştirilmiş partikül özelliklerini destekler. Yarı iletken üretimi, optoelektronik çip alt tabaka işleme ve diğer yüksek hassasiyet gerektiren senaryolar için ideal olan bu malzeme, büyük wafer üretimi için uygun maliyetli ve güvenilir bir çekirdek parlatma malzemesidir.
12 inçlik wafer parlatma için %-FO optik parlatma tozunun fiziksel özellikleri ve kimyasal bileşimi
| Öğe | Boyut | Özgül ağırlık c (g/cm³) | Kimyasal(%) | ||||
| Al2O3 | SiO2 | Fe2O3 | TiO2 | ZrO2 | |||
| FO | #800-#1200 | ≥3,90 | ≥45.0 | ≤20.0 | ≤0,5 | ≤2.0 | ≤33.0 |
| #1500-#3000 | ≥3,90 | ≥40,5 | ≤20.0 | ≤0,7 | ≤2.0 | ≤33.0 | |
12 inçlik wafer parlatma için FO optik parlatma tozunun PSD’si (Parçacık Boyutu Dağılımı)
| Boyut | D0 | D3 | D50 | D94 |
| #800 | ≤32.0 | ≤27.0 | 11.3±0.9 | ≥6,5 |
| #1000 | ≤27.0 | ≤23.0 | 9,4±0,8 | ≥5.0 |
| #1200 | ≤23.0 | ≤20.0 | 7.1±0.7 | ≥4.0 |
| #1500 | ≤19.0 | ≤17.0 | 5,5±0,5 | ≥3.0 |
| #2000 | ≤15.0 | ≤14.0 | 4,5±0,4 | ≥2.0 |
| #3000 | ≤12.0 | ≤11.0 | 3,6±0,4 | ≥1,5 |
FO optik mikrotozunun başlıca kullanım alanları
–Yarı iletken levhaların taşlanması ve parlatılması
– Çeşitli optik camların yüzey işlemesi
– Optik kristallerden yapılmış merceklerin, prizmaların, aynaların, filtrelerin vb. taşlanması ve parlatılması.
– Piezoelektrik malzemelerin yüzey işlemesi
FO optik mikrotozunun paketlenmesi
10 kg PVC torba + palet
